请问「聚焦环」是什么意思？
关于「聚焦环」
拼音 jù jiāo huán，注音 ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ。数据更新于 2026-07-13 01:11:54。
| 拼音字母 | ju jiao huan |
|---|---|
| 拼音首字母 | jjh |
| 注音符号 | ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢ |
| 注音首符号 | ㄐㄐㄏ |
扩展释义
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
拆字组词
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