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请问「掩模」是什么意思?

关于「掩模」

拼音 yǎn mó,注音 ㄧㄢˇ ㄇㄛˊ。数据更新于 2026-07-10 14:35:00。

拼音字母yan mo
拼音首字母ym
注音符号ㄧㄢ ㄇㄛ
注音首符号ㄧㄇ

扩展释义

掩模版(mask)简称掩模,是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形,光线透过它,把设计图形透射在光刻胶上。掩模的性能直接决定了光刻工艺的质量。在投影式光刻机中,掩模作为一个光学元件位于会聚透镜(condenser lens)与投影透镜(projection lens)之间,它并不和晶圆有直接接触。掩模上的图形缩小4~10倍(现代光刻机一般都是缩小4倍)后透射在晶圆表面。为了区别接触式曝光中使用的掩模,投影式曝光中使用的掩模又被称为倍缩式掩模(reticle)。

拆字组词

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